?閥與針閥一體化，配管空間為原來(lái)的1/4。
?密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產(chǎn)生。
?初始供氣、主給気可同時(shí)進(jìn)行流量調(diào)節(jié)。
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常閉 （加壓開(kāi)?彈簧密封） | 氮?dú)狻⒖諝狻?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>惰性氣體等 | VCR? Swagelok? | 1/4B |
?閥與針閥一體化，配管空間為原來(lái)的1/4。?密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產(chǎn)生。?初始供氣、主給気可同時(shí)進(jìn)行流量調(diào)節(jié)。系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸XVD常閉（加壓開(kāi)?彈簧密封）氮?dú)狻⒖諝狻⒍栊詺怏w等VCR?Swagelok?1/4B
?閥與針閥一體化，配管空間為原來(lái)的1/4。
?密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產(chǎn)生。
?初始供氣、主給気可同時(shí)進(jìn)行流量調(diào)節(jié)。
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常閉 （加壓開(kāi)?彈簧密封） | 氮?dú)狻⒖諝狻?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>惰性氣體等 | VCR? Swagelok? | 1/4B |
